利记官方官网,SBOBET,利记平台,利记娱乐,利记体育,利记网址,利记首页-江苏第三代半导体研究院取得新专利
时间:2026-06-07 13:48:32 作者:利记官方官网,SBOBET,利记平台,利记娱乐,利记体育,利记网址,利记首页-江苏第三代半导体研究院取得新专利
2025年3月24日动静,国度常识产权局信息显示,江苏第三代半导体研究院有限公司取患上一项名为 一种先驱体封装容器和气相沉积体系 的专利,授权通知布告号 CN 222648108 U,申请日期为 2024年6月。
专利择要显示,本实用新型公然了一种先驱体封装容器,包括:第一腔体,第二腔体,缓冲腔体,通断节制组件及充抽组件。第一腔体用在容置液态先驱体及固态先驱体,第一利记官方官网,SBOBET,利记平台,利记娱乐,利记体育,利记网址,利记首页-腔体具备第一进气管及第一排气管,第一进气管输入的载气携带液态先驱体后与固态先驱体的蒸气混淆并经第一排气管排出;第二腔体与第一腔体之间设置有第一挡板,第二腔体经由过程第一挡板向第一腔体增补液态先驱体该先驱体封装容器经由过程缓冲腔体及第二腔体共同充抽组件可以或许从外部向第一腔体增补液态先驱体,可以延伸封装容器的利用时限,连结容器内部液态先驱体容量以为载气提供充足的接触路径,包管载气所携带的先驱体浓度,为后续气相沉积工艺提供不变的先驱体来历,包管沉积成膜质量。
江苏第三代半导体研究院有限公司在2019年7月26日于姑苏工业园区建立,是由江苏省、姑苏市、姑苏工业园区与相干同盟和焦点运营团队共建的新型研发机构。2021年4月,科技部核准以其为主体设置装备摆设 国度第三代半导体技能立异中央 。公司聚焦第三代半导体要害共性技能研发,结果转化,产物涵盖半导体质料、器件等,还有提供测试阐发等办事 。
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